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發明專利轉讓——SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法

專利號：CN201410193781

有效期間：2014-05-09 至 2034-05-08

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發明專利轉讓——SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法

更新日期：2024-02-08 10:43:15 溫馨提示：以下適用項目僅供參考，詳情請咨詢顧問

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專利類型：

發明專利

適用行業：

化學

專利描述：

本發明公開了一種SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法，屬于太陽能電池技術領域。該方法包括如下步驟：a、將FTO導電玻璃清洗干凈，安裝于磁控濺射機基片座上；b、開啟真空抽氣系統抽真空；c、通入氬氣，執行預濺射程序；d、再次執行抽本底真空；...

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本發明公開了一種SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法，屬于太陽能電池技術領域。該方法包括如下步驟：a、將FTO導電玻璃清洗干凈，安裝于磁控濺射機基片座上；b、開啟真空抽氣系統抽真空；c、通入氬氣，執行預濺射程序；d、再次執行抽本底真空；e、再次通入氬氣，當真空室內真空度達到2～9×10-1Pa后，開啟SnS靶材的濺射電源制備SnS薄膜；SnS薄膜制備完成后制備ZnS薄膜；f、重復操作，總共制備2～4個P-N結；g、制備Al薄膜后即得到SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池。本發明方法能夠提高電池光吸收率，即能提高電池光電轉換效率，制備過程穩定、溫度低、能耗低，適于大范圍的工業推廣應用。

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