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發(fā)明專利轉(zhuǎn)讓——SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法

專利號:CN201410193781

有效期間:2014-05-09 至 2034-05-08

國家商標(biāo)局備案機(jī)構(gòu),安全保障

發(fā)明專利轉(zhuǎn)讓——SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法
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專利類型:
發(fā)明專利
適用行業(yè):
化學(xué)
專利描述:
本發(fā)明公開了一種SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法,屬于太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域。該方法包括如下步驟:a、將FTO導(dǎo)電玻璃清洗干凈,安裝于磁控濺射機(jī)基片座上;b、開啟真空抽氣系統(tǒng)抽真空;c、通入氬氣,執(zhí)行預(yù)濺射程序;d、再次執(zhí)行抽本底真空;...
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專利詳情

本發(fā)明公開了一種SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法,屬于太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域。該方法包括如下步驟:a、將FTO導(dǎo)電玻璃清洗干凈,安裝于磁控濺射機(jī)基片座上;b、開啟真空抽氣系統(tǒng)抽真空;c、通入氬氣,執(zhí)行預(yù)濺射程序;d、再次執(zhí)行抽本底真空;e、再次通入氬氣,當(dāng)真空室內(nèi)真空度達(dá)到2~9×10-1Pa后,開啟SnS靶材的濺射電源制備SnS薄膜;SnS薄膜制備完成后制備ZnS薄膜;f、重復(fù)操作,總共制備2~4個P-N結(jié);g、制備Al薄膜后即得到SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池。本發(fā)明方法能夠提高電池光吸收率,即能提高電池光電轉(zhuǎn)換效率,制備過程穩(wěn)定、溫度低、能耗低,適于大范圍的工業(yè)推廣應(yīng)用。

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